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產(chǎn)品描述
UV400 GaN基外延片測(cè)溫儀用于GaN基外延的晶圓表面溫度和反射率真實(shí)測(cè)量開拓創新，溫度范圍650…1300℃
18917639396
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1050產(chǎn)品描述
Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)能夠自動(dòng)探測(cè)測(cè)量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD技術交流、MOCVDUV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程交流。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能，并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn)關註。其采用塊化設(shè)計(jì)溝通協調，可快速量身定制，滿足不同的的工藝應(yīng)用要求提供堅實支撐。
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1123產(chǎn)品描述
Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)可用于RTP活動、HDP-CVD、MOCVD創造更多、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程還不大，應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片，外延連日來，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測(cè)溫;OR4000T型具備多通道能力保障性，支持高達(dá)2kHz的讀取速率，符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求解決方案。 其采用模塊化設(shè)計(jì)不負眾望，可快速量身定制。
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1162產(chǎn)品描述
Sekidenko OR400M半導(dǎo)體外延片測(cè)溫儀產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3um-5.2um的中紅外波長(zhǎng)范圍交流研討。OR400M可進(jìn)行單通溫度測(cè)量推動並實現，用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測(cè)量，用于硅片，腔室的精確測(cè)溫更加完善。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口薄弱點。OR400M設(shè)計(jì)緊湊，易于集成精準調控，可滿足許多工藝應(yīng)用的要求效高。